双工位,最大晶元刻蚀尺寸为200mm的光刻机就顺利建造完成,顺利得让所有参与制造的技术人员感觉如在做梦。
“这就做好了?”当
最后一块挡板合上,螺丝拧紧,对光刻机通电系统测试通过,白云天宣布光刻机研发成功,其他人还是不敢相信这个事实,不由窃窃私语。连
下料到解决一个个技术问题,制作出子系统,再到总装,两个月就做出一台这时代最先进的光刻机……
这可能吗?就
算国内光刻机厂家,有现成图纸、熟练工,做一台出来也不止这点时间吧。“
行不行咱们试试不就知道了。”白云天看着众人表情,笑了笑没有解释。有
他带着一种接受了高端制造技术知识注入的新人亲自参与,两个月制造一台光刻机算什么。要
不是没有专用机床设备,哪要得了两个月!像
专门制造光刻机的ASML,一年就要卖几十上百台光刻机出去。
两月一台?这
么慢的生产速度,早就破产倒闭了!
光刻掩膜板早就做好了,这是白云天、李莲亲自动手做的,达到了钢铁城当前技术极限。掩
膜并非只有一个,而是一套。光