刻是个工序多达上百道的漫长加工过程,一道工序,可能就只有极微小的改变。逐步刻蚀掉需要加工部位的光刻胶,然后通过沉积、离子注入等方式,在硅晶元基片上生成所需的元器件、连线等不同部件。
因此整个过程是支离破碎的,每一次光刻都只针对一道工序,经由数百道工序之后,才会制造出一个包含了所有晶体管、电阻、电容等各种元器件的裸晶片。由
于工序漫长,每一道工序的掩膜必须严格对准,误差不能超过几个纳米。否则就会出现错位,导致沉积、注入不到正确的位置,制造失败。可
想而知,掩膜版的精度要求是多么高。从
制成的掩膜版上,众人只能看到星星点点的点、和纵横交错的细线,根本不知道最终出来的电路是怎样的。
工序如此之长,当然不可能马上就得出结果。研
究人员虽然很好奇,但是他们还有别的研究工作要做,当白云天宣布光刻机研发成功,研制团队解散以后,他们也只能回到本来的岗位,继续完成上面交代下来的研究工作。
一个月后,白云天、李莲等人穿着一身连套防护服,眼看着一张亮晶晶的晶圆片完成最后一道工序,小心翼翼摆放到了他们面前。