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光源部分，是唯一没有自造的。毕
竟汞灯只是光刻机光源，波长统一为365纳米，其制造难度并不是特别大。国际市场上的供应商很多，全面禁止对华出口的难度较大，很容易买到。白
云天为了省事，也就没自造，而是通过国内，直接购买了一套。
但是他还是做了小幅改进。就
是用将目镜浸入纯净液体中的方式，对光束波长进行一定幅度的折射，从而达到聚焦效果。
在后世，这叫浸入式光源。
现在各大光科技厂商正在就此技术，进行实验室研究阶段，尚未投入实用。既
然白云天手里有完整的技术，浸入式光源又能小幅改进光源聚焦，那又为何不用？实
际使用效果很好。
采用了浸入式光源技术以后，364纳米的光束波长被约束到了312纳米！
比之英特尔使用的350纳米技术，提升了近40纳米！
在白云天的亲自指导监督下，有李莲、华新等人直接领导，光刻机的制造进度快得惊人，透镜、工作台子系统、光源等最大的技术难点，一一被轻松攻克。经
过两个月的技术攻关——其实就是逐步熟悉制造工艺，一台