黄昆带着秦国刚、王守武、王圩等数名技术大佬迎了过来。
“几位院士,你们好,在这里工作还顺心吗?”赵烨一脸关切的问道,语气简直要多真诚,有多真诚。
这些院士大佬们简直就是他的心肝宝贝。
国内光刻机技术能不能快速突破,就得看他们的了。
黄昆老院士笑着说道:“当然顺心,国内没有哪个地方比这里还好,什么也不要操心,一切都有专人伺候,我们只管研发就好了!”
赵烨点点头:“你们工作顺心就好,对了,黄院士,新一代光刻机的开发进度到什么程度了?”
黄昆院士笑了笑,回答道:“进度还不错,预计明年或许能够开发出新一代的光刻机,直追日本佳能和尼康的光刻机。”
顿了顿,黄昆院士侃侃而谈,仔细地为赵烨介绍道:“我们现在采用193nmArF激光光源,已经实现了光刻过程中,掩模和硅片的同步移动,并且采用了缩小投影镜头,缩小比例达到5:1,有效提升了掩模的使用效率和曝光精度,从而将芯片的制程和生产效率提升了一个台阶!”
赵烨对当下的光刻机以及芯片生产工艺也算比较了解,此刻听完黄昆院士的话,不由心头大喜。