,范围越小,精度就越高。
要保证聚焦范围,一方面是研发波长更短的高能激光,一方面就是提升透镜的透光度。
两者缺一不可。白
云天正在指挥研究人员们做的,就是制造出高纯度、高透光度的透镜材料。“
提取样本,对其掺入杂质进行分析!”随
着他的命令,一根纤细的合金针从炉顶缓缓降落,汲取了部分熔融物,然后再缓缓升起。研
究人员提取了合金针上的样本,迅速送入各个测量仪器,对其内部成分进行测量。数
据很快出来。
“钼含量为4.2……硼为0.12……铁为0.04……”研究人员带着激动的表情,将一项项参数迅速报到他面前。
随着一个个参数的报出,实验室内众人的表情都兴奋起来。
从检测的结果来看,这一炉材料的纯度已经达到了国际上同等纯度。
比国内最高水平还要高出一个等级!白
云天也很高兴。虽
然只能实验室小规模制造,但有了这种高纯度透光材料,光刻机的透镜就有了希望。他
嘴角微弯:“先别急,我们还只是制造出了高纯度材料,还不是高兴的时候。”“