,也感到越来越难以支撑了。
白云天知道,未来顶尖的光刻机生厂商,将会进一步淘汰,最终只有荷兰的ASML还能继续存活。若
是没有《制造史回顾》为后盾,他也没有勇气冒着巨大风险,贸然涉足这个行业。
但现在就不同了。白
云天戴着护目镜,站在观察口,望着充满了氩气的真空冶炼炉外,观察着一汪呈现液态的熔融物,对比仪器上的显示数据,满意地点了点头。
他正在看的,是实验室内制备的高纯度玻璃。
光刻机就是用高能光束,对光刻胶进行蚀刻的设备,为了保证刻蚀宽度足够细,因此光束也必须非常集中,达到纳米级才能充分聚焦。
光束本身不可能这么细,要想达到需要的直径,就只能通过透镜对其进行聚焦。
众所周知,玻璃看似透明,但内部其实有很多杂质。
如果是用普通的玻璃制作成透镜,对光束进行聚焦,就会因为内部的各种杂质,导致光束被分散、偏移,导致聚焦不准。
为了保证聚焦成功,只能放宽光束直径。
这就是早期光刻机的光刻宽度有限的根本原因,而提升光刻机的刻蚀精度,就是要想方设法,约束光束的聚焦范围