芯片上的微型集成系统。
MEMS起源于1947年美国贝尔实验室晶体管的发明，直到1987年美国伯克利加州大学发明了微马达，引起国际学术界的轰动，人们看到了电路与执行部件集成制作的可能性，这是MEMS技术的开端。
MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域。MEMS被认为是21世纪最有前途的技术之一，如果半导体微制造被视为第一次微制造革命，MEMS则是第二次革命。
1988年，美国的一批有远见的科学家提出“小机器、大机遇”，并呼吁美国重视MEMS这一重大领域的开发。
MEMS自发明一来，一直以来都是全球半导体业的一颗璀璨明星，无论是民用或者航天国防军工产业，它的地位非常重要。特别在前世，进入轰轰烈烈的智能物联网时代后，MEMS传感器扮演着越来越重要的角色……
想到这里，李晓凡随即在雅虎等网站上搜索了一下“ADI”“MEMS”这两个关键词的相关所有信息。
网上的相关信息显示，幸好，这家ADI亚德诺半导体技术公司进入MEMS领域时间不长，才3年多时间。
现在才199