也是构成化学结构的一种基本粒子.在真空中,如果把一束离子束射向一块固体材料,有可能会被固体材料反弹出来,或者穿过固体材料而去,但也有可能会停留在固体材料之中.后一种情况,就被称为离子注入.
离子注入意味着在原有的材料中加入了新的元素,从而能够使原有材料的属性发生变化,因此成为一种非常重要的材料加工方法.离子注入方法可以实现陶瓷材料,金属材料,高分子材料的表面改性,产生出符合人们需要的新材料.
离子注入还有一个非常重要的应用,就是微电子工业中的大规模集成电路制造.通过对硅片进行离子注入,可以在硅元素中掺入各种杂质,从而改变半导体材料的电学特征,正因为这个原因,离子注入机成为大规模集成电路制造的重要设备之一.
京大物理系的半导体物理教研室正是研究离子注入技术的,也曾为国内几家电子设备企业设计过离子注入机.但离子注入机的制造除了需要理论指导之外,还需要有高精度的机械加工能力.受加工能力的限制,国产的离子注入机性能与国外差距甚大,而国外出于技术封锁的目的,又禁止向中国出口某些型号的离子注入机,这就导致了国内半导体生产能力严重滞后于国外.
听说秦海